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划片机刀片和软刀、硬刀有什么区别
来源: 发布时间:2023-03-06 点击量:343
行业内将传统晶圆划片机刀片一般分为软刀和硬刀两种。有时候也被称作砂轮片。
划片机刀片,可用于各种晶圆、半导体封装基板、陶瓷、玻璃等硬脆材料。其工作原理如下图所示,金刚石颗粒在高速旋转下,将被切割材料击碎,切割水同时将碎屑排走,从而达到切割的目的。
但是,不要看字面意思就误解为软刀很软,硬刀很硬。实际上软刀和硬刀都是以金刚石为主要切割材料,以下简要描述了两种刀的区别和特点。
1.外观的差异
一般来说,圆形薄片砂轮片称为软刀,而将砂轮片与铝合金刀架相结合的砂轮片称为硬刀。
2.结合剂的差异
砂轮片主要由金刚石磨料和粘合剂组成。软刀的粘合剂一般为金属镍合金、金属铜合金或者树脂,而硬刀的粘合剂一般只有金属镍合金。
3.制作工艺的差异
制造软刀时,其成型方法一般包括电铸成型、粉压烧结或粉压加热固化成型,而硬刀一般采用电铸成型。
4.使用方法的差异
使用软刀时,必须定位并固定在专用刀盘(或法兰盘)上,然后安装在专用切割机上。使用硬刀时,无需刀盘即可直接安装在专用切割机上。
5?常用规格的差异(以下单位为mm)
软刀外径:52、54、56、58、76、78、100、117等
硬刀外径:55.55
软刀内径:通常为40,也有个别非常规划片机上所用的划片刀,内径为10、88.82等
硬刀内径:19.05
软刀厚度:0.04~1.5
硬刀厚度:0.015~0.150
6?加工对象
软刀:陶瓷、玻璃、蓝宝石、铁氧体、铌酸锂单晶等各种半导体封装材料
硬刀:各类晶圆
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